| 型號 | VMU222 | VMU322 | VMU432 | ||
| 行程(mm)* | 200×200×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | ||
| 外型尺寸(mm) | 1040×740×1620 | 1040×740×1620 | 1240×800×1620 | ||
| 重量(kg) | 240 | 250 | 310 | ||
| 承重(kg) | 25 | 25 | 25 | ||
| 測量精度 | XY軸** | E2=(1.5+L/300)μm | E2=(1.9+L/300)μm | ||
| Z軸*** | E1=(5.0+L/200)μm | ||||
| 速度 | XY軸 | 500mm/S | |||
| Z軸 | 100mm/S | ||||
| 光柵尺 | 0.1μm Renishaw光柵尺 | ||||
| 導軌 | THK | ||||
| 圖像傳感器 | 高清晰彩色專用工業攝像機 | ||||
| 光源 | 輪廓光 | LED冷光源，256級亮度可調 | |||
| 可升降表面光 | 3內環3外環8區LED冷光源，各段獨立操作，256級亮度可調，外3環可程控升降，提供45°到75°多種落射角度照明 | ||||
| 同軸光 | LED冷光源，256級亮度可調 | ||||
| 光學鏡頭 | 12.5:1連續變倍 | ||||
| 放大倍率**** | 光學放大倍率：0.6～7.5×；影像放大倍率：18～230× | ||||
| 軟件 | Vispec測量軟件（VMU版） | ||||
| 運動控制 | 自主的CNC直流伺服系統 | ||||
| 保修期 | 1年 | ||||
| 工作環境 | 溫度20℃±2℃，濕度30～80% | ||||
| 振動<0.002g，低于15Hz | |||||
| 電源 | 200~240Vac ，50/60Hz，單相，700W | ||||
* Z軸標配有效測量行程135mm，可加高至300mm。
** L表示測量長度，以毫米為單位。
*** Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系。
**** 放大倍率為近似值，具體指與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關；客戶可根據需求選配0.5×或2×附加鏡，實現影像放大倍率9～115×或36～460×。
◆ 超精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 精密花崗巖機臺，精度高、穩定性好；
◆ 三軸THK精密直線導軌、精密傳動系統；
◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩定性好；
◆ TZTEK自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量；
◆ 程控式6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、432等。
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