一次測量,實現粗糙度、波紋度、輪廓分析·實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量·X向采用新型數字式傳感器,精度更高,Z1采用自主研發高精度多段式電感傳感器多段式高精度傳感器具有超大量程,較大限度保持了傳感器的原有精度
一次測量,實現粗糙度、波紋度、輪廓分析
·實現全范圍內的粗糙度、波紋度測量
·X向采用新型數字式傳感器,精度更高,Z1采用自主研發高精度多段式電感傳感器
多段式高精度傳感器具有超大量程,較大限度保持了傳感器的原有精度。
采用剛性精度免維護直線運動導軌,精密控制系統。
采用高速并行數據采集單元,硬件觸發、硬件高速采樣,無延時;足夠密集及穩定的數據源為后期數據處理、計算提供有力的保障。
規格號 | 參數 | |
測量范圍 | X軸 | 0-200mm可選 |
Z軸 | 0-620mm可選 | |
Z1軸 | 6mm,2mm | |
線性精度 | 輪廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm測桿) |
粗糙度 | ≤±(12nm+3%) |
輪廓測量:各種類型工件表面的線要素,點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑,可進行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析:Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測量:Ra、Rp、Rv、Rz、Rz(jis)、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數:Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
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