大樣品掃描探針顯微鏡源自著名的變溫SPM，為采用SPM研究較大尺寸的樣品（zui大直徑4’’的晶圓或自制樣品）提供一個理想的平臺。

　　大樣品掃描探針顯微鏡源自著名的變溫SPM，為采用SPM研究較大尺寸的樣品（zui大直徑4’’的晶圓或自制樣品）提供一個理想的平臺。它主要特點如下：

　　樣品zui大直徑4’’

　　可通過法蘭對接在已有的真空腔體上

　　Sub system option

　　Fab line compatible

　　pA量級的隧道電流

　　增強的dI/dV隧穿譜

　　激光反射式AFM QPlus式AFM