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QQ交談顯微鏡物鏡掃描臺(tái)
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- 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 2020-09-28 20:31:18
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【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
高精度顯微鏡物鏡掃描儀
高精度亞納米物鏡掃描臺(tái)/定位臺(tái)！
上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)采用壓電陶瓷直推，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使物鏡掃描臺(tái)具有結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、無機(jī)械摩擦、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，采用硅位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)相比于傳統(tǒng)的電容式位移傳感器，物鏡掃描臺(tái)硅傳感器使平移臺(tái)擁有更高的精度和線性度以及較低的底噪。物鏡掃描臺(tái)的精度可以達(dá)到亞納米，底噪低至10pm。
物鏡掃描儀,物鏡掃描臺(tái),顯微鏡物鏡掃描儀,壓電陶瓷掃描臺(tái),壓電精密定位系統(tǒng)
昊量光電推出的壓電平移臺(tái)是為了滿足超精密定位應(yīng)用的需求。該平移臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。采用硅高精度位移傳感器，與電容位移傳感器相比擁有更高的精度、線性度和非常低的底噪。由于其具有較高的精度、線性度和較低的底噪等優(yōu)點(diǎn)，被廣泛的應(yīng)用于超分辨率顯微鏡，光學(xué)捕獲和原子力顯微鏡等領(lǐng)域。
上海昊量推出的物鏡掃描臺(tái)主要有AU-FOC和AU-FOCHS.100兩款產(chǎn)品。
AU-FOCHS采用管狀設(shè)計(jì)，專門用于顯微鏡物鏡快速高精度定位。該物鏡掃描臺(tái)可提供行程可達(dá)到100μm，精度可達(dá)到0.1 nm，諧振頻率可達(dá)到1175Hz。它由鋁、鋼和黃銅構(gòu)成，配備硅傳感器，可提供皮米級(jí)的穩(wěn)定性。以上優(yōu)點(diǎn)使其擁有廣泛的應(yīng)用，例如，激光加工、自動(dòng)聚焦等還可以與自動(dòng)對(duì)焦穩(wěn)定系統(tǒng)結(jié)合使用。
AU-FOC是一款專門用于顯微鏡物鏡準(zhǔn)確定位的設(shè)備。該物鏡掃描臺(tái)可提供100/200/300μm不同行程。該物鏡掃描臺(tái)由鋁和黃銅構(gòu)成，結(jié)合硅傳感器可提供皮米量級(jí)的穩(wěn)定性。
以上兩款物鏡掃描臺(tái)的黃銅安裝環(huán)可以輕松更換，因此幾乎所有的物鏡都可以與這兩款物鏡掃描臺(tái)結(jié)合使用。可用的物鏡大小有RMS, M25, M26, M27 and M32.
產(chǎn)品特點(diǎn)
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，諧振頻率可達(dá)1175Hz
l 采用硅傳感技術(shù)
l 超低底噪
l 柔性鉸鏈導(dǎo)向
主要應(yīng)用
l 自動(dòng)聚焦系統(tǒng)
l 共焦顯微鏡
l 3D成像
l 超分辨顯微鏡
l 半導(dǎo)體計(jì)量學(xué)
產(chǎn)品參數(shù)：
Unit | AU-FOC | AU-FOCHS | |||
Range of motion | mm | 100 | 200 | 300 | 100 |
Resolution | nm | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.1 |
Typical noise floor | nm | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.01 |
Full range repeatability | nm | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.2 |
Linearization (typical) | 0.02% | ||||
Resonant frequency | Hz | 500 | 350 | 250 | 1175 |
Stiffness | N/mm | 0.6 | 0.4 | 0.3 | 3.5 |
Maximum load : | |||||
horizontal use | Kg | 0.5 | |||
vertical use | Kg | 0.5 | |||
Sensor | Silicon HR sensor | ||||
Material | Al | ||||
Cable length | m | 2 | |||
Controller | standard | High speed | |||
