QQ交談亞納米/納米平移臺（壓電直推型，0-1500μm行程）
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- 上海昊量光電設備有限公司
- 2020-09-29 17:30:39
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【簡單介紹】
【詳細說明】
高精度亞納米壓電平移臺
壓電平移臺是以壓電陶瓷為驅動，以柔性鉸鏈為導向，通過壓電陶瓷的形變精確控制平臺的移動。該平臺可提供X、XY及XYZ等不同維度平臺，行程大可達1500微米。采用硅高精度位移傳感器閉環反饋，使平臺擁有毫秒級響應速度，亞納米級的分辨率，并且擁有非常低的底噪。被廣泛應用于，超分辨顯微、光鑷系統、原子力顯微鏡、顯微掃描、光路調整、納米操控技術、CCD 圖像處理、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。
昊量光電推出的壓電平臺按維度可以提供以下產品：
1）單軸壓電平臺
單軸壓電平臺是可以在單個維度上提供精確定位的產品，主要包含X壓電平臺、Z軸壓電平臺、物鏡掃描臺、一維快反鏡。
①X軸壓電平臺
一維平臺可提供不同行程、中空/非中空等不同類型的產品
型號 | AUHS1 | AUHS1H | AUC-X.100 | AULF1 | AUSLR |
產品圖片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100 | 100/200/300 | 300/500/8001500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重復精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪聲nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 | ||||
②Z軸壓電平臺
型號 | Z-stage | C-Z.100 | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | Z-insert-INC | LT-Z |
產品圖片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重復精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6/1.0 | 0.2/0.4/0.6/1.0 |
本底噪聲nm | 0.0005/0.001/0.0025/0.005 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03/0.05 | 0.01/0.02/0.03/0.05 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 | |||||
③物鏡掃描臺
型號 | FOCHS.100 | FOC |
產品圖片 |
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行程(μm) | 100 | 100/200/300 |
分辨率(nm) | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 |
全行程重復精度(nm) | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 |
本底噪聲nm | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 | |
④一維快反鏡
型號 | TT1.5 |
產品圖片 |
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偏轉角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重復精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪聲（μrad） | 0.0005/0.001 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 |
2）兩軸壓電平臺
兩軸壓電平臺可提供兩個維度的平移和偏轉主要包括XY壓電平臺和二維快反鏡
①XY壓電平臺
型號 | LFHS2 | LTHS2 | C2.100 | LFS2 | LT2 | BIO2 | LF2 | MWP2.800 |
產品圖片 |
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行程(μm) | 30/50/75 | 30/50/75 | 100 | 100 | 100/200/300 | 100/200/300 | 100/200/300 | 800 |
分辨率(nm) | 0.03/0.05/0.075 | 0.03/0.05/0.075 | 0.1 | 0.1 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3 | 0.8 |
重復精度（全行程）nm | 0.06/0.1/0.15 | 0.06/0.1/0.15 | 0.2 | 0.2 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 0.2/0.4/0.6 | 1.6 |
本底噪聲nm | 0.003/0.005/0.0075 | 0.003/0.005/0.0075 | 0.01 | 0.01 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.01/0.02/0.03 | 0.08 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 | |||||||
②二維快反鏡
型號 | TT2.5 |
產品圖片 |
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偏轉角度(mrad) | 5/10 |
分辨率(μrad) | 0.005/0.01 |
全行程重復精度（μrad） | 0.01/0.02 |
本底噪聲（μrad） | 0.0005/0.001 |
傳感器 | 硅傳感器閉環反饋 |
3）三軸壓電平臺
產品圖片 | 描述 | 行程 |
| LT3是一款三維平臺，可提供100,200或300微米的行程。平臺使用硅傳感器厚度只有20mm，該平臺很容易集成到倒置顯微鏡中 | X-Y-Z |
| BIO3是一款超低剖面的三維定位平臺可集成在任何倒置顯微鏡中。載玻片可以放置在其矩形孔中 | X-Y-Z |
| LF3是緊湊型3軸壓電平臺，具有66mm方孔，X軸和Y軸行程范圍為100μm，200μm或300μm，Z軸行程為50μm。 建議要求小尺寸和通光孔時使用。 | X-Y： Z： 50μm |
| LFS3是一款3軸納米定位平臺，X，Y行程為100μm，Z行程20μm，通光孔徑40 x 40 mm。 | X-Y： 20μm |
| LFHS3是一款高速三軸納米定位臺，諧振頻率高于2k，通光孔徑達66x66mm，可實現高速掃描，階躍時間可達2ms | X-Y： Z： 50μm |
| LTTHS3是一款超薄高速三維定位平臺，可配合任何倒置顯微鏡使用，可實現高速掃描 | X-Y： Z： 50μm |
| C3.100是一款緊湊型平臺，是光纖對準、雙光子聚合、激光直寫等應用的理想產品 | X-Y-Z |
| CUBE3是一款3軸緊湊型納米定位平臺，可沿X，Y和Z提供100或200μm的運動。其緊湊的設計使其成為光纖對準，雙光子聚合，激光寫入等應用的的理想工具 | X-Y-Z |
| SPM3平臺是一個3軸超高速納米定位平臺，沿X和Y提供75μm的行程，兩個軸上的共振頻率高于2kHz。 SPM3平臺的Z軸具有高達50μm的行程范圍，諧振頻率高達12.5kHz，當與高功率控制器一起使用時，SPM3.5的Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。因此，SPM平臺專為要求苛刻的計量應用而設計，例如原子力顯微鏡。 | X-Y： Z： 5μm 10μm 25μm 50μm |
| SPM3LR壓電平臺是3維定位平臺，X軸和Y軸的位移為 100μm，200μm或300μm。 Z軸部分的行程可達50μm并具有高達12.5kHz的諧振頻率。 SPM3LR.xxx.05的Z軸的階躍響應時間可以小于毫秒。 因此，SPM3LR載物臺設計用于要求苛刻的計量應用，例如原子力顯微鏡。 | X-Y： 200μm 300μm Z： 5μm 10μm 25μm 50μm |
主要特點 | 主要應用 | |
高分辨率（0.01nm） 超低底噪
| 納米刻蝕 超分辨顯微鏡 原子力顯微鏡
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