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薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE 60(mapping測量)

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  • 上海昊量光電設備有限公司
  • 2023-02-11 08:42:14
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【簡單介紹】

薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE60(精確定位測量)MProbe60是一站式系統,專為研發中心和小型制造而設計

【詳細說明】

薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE 60(精確定位測量)


 


MProbe 60 是一站式系統,專為研發中心和小型制造而設計。它結合了測量厚度/n&k 與自動化小點測量的能力。MProbe 60 已應用于研發納米技術中心。可以快速可靠地測量 1 nm至 2 mm的厚度,包括多層薄膜堆疊。不同的MProbe 60 型號主要受的波長范圍和分辨率影響,進而決定了可測量的厚度范圍。

 

薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE 60的優勢:

1.具有靈活和模塊化的映射自動化的一站式系統

2.的精度 <0.01nm 或="">

3.500+ 擴展材料數據庫

4.軟件:用戶友好且功能豐富的 TFCompanion 軟件甚至可以處理zui復雜的應用程序。層數沒有限制,支持背面反射、表面粗糙度、暗度等等。集成的相機和成像軟件允許精確定位測量位置并直接在圖像上顯示結果

 

薄膜厚度均勻度測量系統-MPROBE 60選型列表:

MProbe 60

波長范圍

厚度范圍

VISLX

400nm -1000nm

10nm – 75μm

UVVisSR

200nm-1000nm

1nm-75μm

UVVisF

200nm-900nm

1nm – 5μm

VISHR

700nm -1100nm

1μm – 400μm

NIR

900nm-1700nm

50nm -100μm

VISNIR

400nm -1700nm

10nm-100μm

UVVISNIR

200nm-1700nm

1nm-100μm

NIRHR

1530nm-1580nm

25μm-2000μm




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