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半導(dǎo)體/薄膜無損檢測儀

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  • 上海昊量光電設(shè)備有限公司
  • 2023-02-11 08:43:04
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【簡單介紹】

薄膜無損檢測系統(tǒng),半導(dǎo)體無損檢測系統(tǒng)l產(chǎn)品特點系統(tǒng)使用獲得zuanli的光聲技術(shù)設(shè)計無損測量系統(tǒng)

【詳細說明】

薄膜無損檢測系統(tǒng),半導(dǎo)體無損檢測系統(tǒng)

 

l  產(chǎn)品特點

系統(tǒng)使用獲得zuanli的光聲技術(shù)設(shè)計無損測量系統(tǒng)。

源自 CNRS 和波爾多大學(xué)的技術(shù)轉(zhuǎn)讓,它依靠激光、材料和聲波之間的相互作用實驗超精密材料物性,薄膜厚度檢測

系統(tǒng)使用無接觸,無損光學(xué)測量。運用激光產(chǎn)生100GHz以上超高頻段超聲波,以此檢測獲得材料諸如厚度,附著力,界面熱阻,熱導(dǎo)率等。

產(chǎn)品尤其適測量從幾納米到幾微米的薄層,無論是不透明的(金屬、金屬氧化物和陶瓷),還是半透明和透明的。 這種全光學(xué)無損檢測技術(shù)(without contact, no damage, no water, no Xray)不受樣品形狀的影響。

產(chǎn)品適用精度可以達 1nm to 30 microns , Z軸分辨率為亞納米

于此同時,系統(tǒng)提供附著力、熱性能(納米結(jié)構(gòu)界面熱阻)測量分析

 

多種材料適用性

廣泛的材料至關(guān)重要。我們的技術(shù)已證明其能夠測量許多金屬材料以及陶瓷和金屬氧化物,并且不受外形因素的影響。

                                               

 

 

廣泛的應(yīng)用中發(fā)揮作用

半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體行業(yè)為我們周圍遇到的大多數(shù)電子設(shè)備提供了基本組件。它的制造需要在硅晶片上進行多次薄膜沉積,。

工業(yè)過程中,厚度測量和界面表征都是確保質(zhì)量的關(guān)鍵。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)中多層/單層不透明薄膜沉積

對于以上問題,我們針對提供:

-高速控制檢測

-無損無接觸測量

-單層/多層測量

顯示行業(yè)

今天,不同的技術(shù)競爭主導(dǎo)顯示器的生產(chǎn),而顯示器在我們的日常使用中無處不在。事實上,由于未來 UHD-8K 標準以及新興柔性顯示器的制造工藝,這不斷擴大的行業(yè)存在技術(shù)限制

單個像素仍然是一堆薄層有機墨水、銀、ITO……在這方面,控制薄層厚度的問題仍然存在。這些問題可能會導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量缺陷。

對此我們可提供:

- 對此類層級樣品的檢查。
-
提取厚度的可能性。
-
非破壞性和非接觸式厚度測量。

薄層沉積

無論是在航空工業(yè)還是科研制造領(lǐng)域,技術(shù)涂層都可用于增強高附加值部件中的某些功能。這些涂層的厚度隨后成為確保目標性能的關(guān)鍵因素。

接觸式破壞測量對于此領(lǐng)域會帶來特定問題,且受限于待測樣品形狀因素、曲率等原因,很難控制樣品特性

 

對此我們可以提供:

不改變樣品形貌無損檢測(Form factor postage

快速厚度測量

在線測量控制

 

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