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簡介：上海伯東美國KRI考夫曼離子源提供多個類型的低能量高密度的電子源,從簡單的熱電子燈絲模式到中空陰極模式,典型應用在等離子和離子工藝中的陰極和陽極中和器,通過技術完成電子的發射,測量和束流控制,廣泛...

簡介：伯東公司是美國考夫曼公司Kuafman&Robinson,Inc（KRI）中國總代理.KRI考夫曼公司是由離子源發明人Dr.Kaufman考夫曼博士于1978年在美國創立.KRI考夫曼離子源歷經3...

簡介：上海伯東代理美國進口KRI射頻離子源RFICP220高能量柵極離子源,適用于離子濺鍍,離子沉積和離子蝕刻.在離子束濺射工藝中,射頻離子源RFICP220配有離子光學元件,可以很好的控制離子束去濺射...

簡介：上海伯東代理美國進口KRI射頻離子源RFICP140是一款緊湊的有柵極離子源,非常適用于離子束濺射沉積,離子輔助沉積和離子束刻蝕.在離子束濺射工藝中，射頻離子源RFICP140配有離子光學元件,可...

簡介：尺寸:直徑=9.7“高=6”放電電壓/電流:50-300V/20A操作氣體:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有機前體

簡介：在離子刻蝕工藝中,離子源與離子光學配合,蝕刻更均勻.標準配置下RFICP100離子能量范圍100至1200ev,離子電流可以達到400mA.

簡介：上海伯東代理美國進口KRI射頻離子源RFICP40:目前KRI射頻離子源RFICP系列尺寸最小,低成本高效離子源.適用于集成在小型的真空腔體內.離子源RFICP40設計采用創新的柵極技術用于研發和...

簡介：尺寸:直徑=5.7“高=5.5”放電電壓/電流:50-300V/10A或15A操作氣體:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有機前體

簡介：尺寸:直徑=5.7“高=5.5”放電電壓/電流:50-300V/10A操作氣體:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有機前體

簡介：上海伯東代理美國進口KRI考夫曼離子源KDC40:小型低成本直流柵極離子源.KDC40是3cm考夫曼型離子源升級款.具有更大的柵極,更堅固,可以配置自對準第三層柵極.離子源KDC40適用于所有的離...