臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器，接觸式臺階儀是探針劃過被測樣品表面隨表面高低起伏上下運動，位移傳感器記錄其相對零點偏移范圍，計算出真實臺階高度。

臺階儀
NanoMap-500LS
 
接觸式三維表面臺階儀NanoMap-500LS
 
NanoMap 500LS探針三維臺階儀 
特點 
? 常規的探針臺階儀和掃描探針顯微鏡技術的*結合 
? 雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描），即使在長程測量時也可以得到*化的小區域三維測圖 
? 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。 
? 接觸式探針臺階儀在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 
? 針尖掃描采用雙光學傳感器，同時擁有寬闊測量動態范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（zui小０.１nm ） 
? 軟件設置恒定微力接觸 
? 簡單的2步關鍵操作，友好的軟件操作界面 
應用 
三維表面形貌/臺階儀主要應用在金屬材料、生物材料、聚合物材料、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度，二維粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），三維粗糙度（Sa,Sq,Smax），劃痕截面面積，劃痕體積，磨損面積，磨損體積，磨損深度，薄膜應力（曲定量率半徑法）等定量測量。擺脫了以往只能得到二維信息，或三維信息過于粗糙的現狀。將臺階儀帶入了另一個高精度測量的新時代。

三維表面輪廓測量和粗糙度測量，即適用于精密拋光的光學表面也可適用于質地粗糙的機加工零件。 
薄膜和厚膜的臺階高度測量 
劃痕形貌，磨損深度、寬度和體積定量測量 
空間分析和表面紋理表征 
平面度和曲率測量 
二維薄膜應力測量 
微電子表面分析和MEMS表征 
表面質量和缺陷檢測 
環境要求 
濕度：10-80%， 相對濕度，無冷凝 
溫度：65-85 華氏度（△T＜1度/小時） 
電源要求：110/240V，50/60 Hz 

技術規格 標準樣品 臺階高度標準樣品（NIST認證） 100μm 
系統 光學照相機視場范圍 1.5 X 1.5mm 
光學照明 軟件控制暗場和亮場 
電腦 Pentium IV, USB2.0聯接 
操作系統 Win XP 
系統動力需求 90-240V，350W 
空間尺寸 20’’ 寬X 22’’長 X 25’’高 
重量 160lb 
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