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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統。

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二氯硅烷分析用氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用華愛公司的中心切割技術,進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設計,并配備進樣壓力自動校正系統,保證不同底氣的樣品的進樣量。二氯硅烷分析用氦離子色譜儀產品先后榮獲上海市高新技術成果轉化*項目、上海市重點新產品、上海市火炬計劃和2009科學儀器產品等稱號。

                                              項目名稱指標
三氯氫硅(SiHCl3 )含量(體積分數)/l0-6                                                                                                  ≤        10
(一氯硅烷+氯化氫)含量(SiH3Cl+HCl)含量”,以氯化氫計(體積分數)/l0-6                                            50
氮(N2)含量(體積分數)/l0-6                                                                                                        1
(氧+氬)(O2+Ar)含量(體積分數)/l0-6                                                                                          1
一氧化碳(CO)含量(體積分數)/l0-6                                                                                             1
氫(H2)含量(體積分數)/l0-6                                                                                                      10
二氧化碳(CO2)含量(體積分數)/l0-6                                                                                           1
總烴(THC)含量,以甲烷(CH4)計(體積分數)/l0-6                                                                      1
金屬元素及其他元素含量(硼+鋁)(B+Al)含量/(µg/kg)                    ≤0.1
(磷+砷)(P+As)含量/(µg/kg)                   ≤0.3
鎵(Ga)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
銻(Sb)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
銦(In)含量/(µg/kg)                                    ≤0.1
鈣(Ca)含量/(µg/kg)                                   ≤1
鉻(Cr)含量/(µg/kg)                                   ≤1
鐵(Fe)含量/(µg/kg)                                    ≤5
鉀(K)含量/(µg/kg)                                     ≤1
鈉(Na)含量/(µg/kg)                                    ≤0.2
鎳(Ni)含量/(µg/kg)                                    ≤1
鉬(Mo)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1
錳(Mn) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.2
銅(Cu)含量/(µg/kg)                                   ≤0.2
鎘(Cd) 含量/(µg/kg)                                  ≤0.5
鈷(Co)含量/(µg/kg)                                   ≤0.5
鋅(Zn)含量/(µg/kg)                                   ≤0.1

 

 

上海華愛色譜分析技術有限公司

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