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白光干涉儀&輪廓儀

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SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀

白光干涉測量技術廣泛應用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測量精度可以達到納米級別。 SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米級測試精度,外接PC或筆記本電腦進行實時數據分析。 SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀功能全面,輕松應對各種測試環境。電動XY雙軸樣品臺匹配自動拼接程序,應對大面積測試任務。典型應用包括科學研究、質量控制和工藝管理。

德國SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優點:

  • 通用型
  • 精度高
  • 測速快
  • 穩定可靠
  • 自動拼接

MountainsMAP表面分析軟件與三維可視化測量報告

作為一款高品質的表面成像與分析軟件,MountainsMAP適合實驗室、研究機構及工廠各類機能表面的設計、測試或制造設備使用。 MountainsMAP擁有一整套全面的解決方案,于表面外觀及形貌的成像與分析,提供詳盡的三維可視化測量報告。


SmartWLI擴展型白光干涉三維輪廓儀技術參數

測量系統

量測原理

白光干涉

Z軸定位系統

壓電效應調節系統

高度量測范圍

大可達400 μm

攝像頭參數

CCD攝像頭;1624x 1234相素

干涉物鏡系統

放大倍數MAG

視場范圍FOV (mm)

橫向分辨率 (um)

2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 ×

4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2

10.54 μm – 0.55 μm

光源

LED

測試時間

通常<20秒

軟件系統

 

SmartWLI

基于微軟Win7操作系統,64位表面形貌測量軟件;三維數據可通過接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。

MountainsMap

三維數據分析軟件,輪廓及三維影像結果輸出、測量數據預處理及后處理、德標(DIN)歐標( EN) ISO標準粗糙度及高度測定、串行處理及測試日志。

輸出文件格式

ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF


部分測試結果展示

液態軸承

晶片


鉆石工具

透鏡工具


金屬表面

汽車車身表面


粗糙度標準片

發動機汽缸



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