經濟型、通過等離子化氣體的活性作用對處理對象表面進行改質、清洗
特點
● 經濟型等離子清洗機。
● 簡單的等離子處理操作。
● 無需高頻使用申請。
值得期待的應用案例
<清洗>
● 有機膜的去除(油,蠟等有機膜)。
● 電子零件,光學零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等(通過氧自由基進行細胞膜的蝕刻或通過紫外線進行消毒)。
<表面改質>
● 高分子材料表面的官能基付與→ 粘合性,密著性提高。通過氧化反應,在表 面生成-OH, >C=O, -COOH等官能基(微量的水分及二氧化碳影響);
● 電子零件,光學零件和微小部件的清洗、電鍍、涂層前處理。
● 細菌的消毒等(通過氧自由基進行細胞膜的蝕刻或通過紫外線進行消毒)。 同樣,氮氣等離子時,表面吸取氮原子生成-NH2官能基。
● 提高各種聚合物的粘結性以及提高醫科齒科材料的生物相容性等。
● 通過處理培養皿可以在其上均勻涂抹培養基等。
<蝕刻>
● 有機高分子材料的蝕刻。對于有機高分子氧氣成為蝕刻氣體,可以進行抗蝕劑的蝕刻。
● 促進種子發芽等實驗。
規格
型號 | PM100 |
等離子發生源 | 低頻高電壓電源,輸出約100W,周波數60KHz、輸出電壓10kV |
電機構造 | 電容型 2分割 |
氣體流量計 | 氧氣用、流量30~300mL/min |
真空調整閥門 | 抽真空用,回大氣用 |
反應腔尺寸 | 內徑100mm×深度大約200mm |
外形尺寸(寬×深×高mm) | 310×300×448 |
電源 50/60Hz | AC100V 10A(含真空泵Max7A) |
真空泵接口 | 外徑Φ6.35mm(*真空泵排氣速度30L/min) |
氣體接口 | 外徑Φ6.35m |
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