| 等離子體監測系統 | ||||
PlasCalc等離子體監控系統通過測量等離子體反應腔的發射光譜，實時監測反應腔內的等離子體組分和密度、等離子體溫度、電子密度等參數。由等離子體發射光譜的強度值可計算得出等離子組分、顆粒密度及電子密度；由同一電子的能量吸收譜線同另外譜線的對比可計算得出電子溫度。測量輸出結果，可反饋控制等離子體的發生，從而獲得優質的反應流程和效果。 PlasCalc等離子體監控系統主要包括：高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、接收透鏡、過程監控裝置及測量分析軟件。 PlasCalc應用于測量等離子體鍍膜沉積情況，監測等離子濁刻，檢查表面清潔處理，分析等離子反應腔控制情況，監測異常污染排放現象，磁控濺射、光學鍍膜、終點測量、開發等離子過程的監測和控制優化。
色度計（ADMESY） SOLAR公司的波長計SHR、SHR-IR波長計 積分球（Labsphere） 溫控支架（Quantum Northwest）
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