沉積速率監測 分子束質譜儀采用三級濾過四極桿質譜儀，適于分子束和多源分子束研究和MBE監測。

沉積速率監測 分子束質譜儀

應用：
• MBE 監測和控制
• 分子束研究
• 多束源分析
• 高性能殘余氣體研究
• 脫附 / 除氣研究/烘烤周期
• 容器、過程氣體污染物分析
沉積速率監測 分子束質譜儀特點：
• 靈敏度高, 檢測范圍從100% 至5ppb,質量數范圍至510 amu.
• 長期穩定性(24h以上，峰高變化小于±0.5%).
• 交叉離子源,束接收角同軸的橫斷面呈 +/- 35°
• 離子源控制，用于軟離子化和表觀電勢質譜
• 靈敏度增強用于大質量數的傳輸，自動質量數范圍列表
• 2mm 束接受孔， 也可為特殊使用者配置
• 一級過濾處增加射頻，抗污染物能力增強。
• 內置UHV 兼容的水冷卻罩
• 分子束研究中，檢測極限低至30 ions / s
• 監測生長速率1? / min，或更低
• Windows™ 界面的MASsoft軟件通過RS232、RS485 或以太網控制