sj6000國產激光干涉儀器測量分辨率0.01″,系統測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。
sj6000國產激光干涉儀器測量分辨率0.01″,系統測量精度為±1″,基準WR50自動精密轉臺重復精度為0.2″。主要特點是小巧便攜、功能強、無線操作。具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。
以激光干涉技術為核心,sj6000國產激光干涉儀器機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、長期穩定性好的激光頻率輸出,并且干涉鏡與主機分離設計,避免了干涉鏡受熱影響,保證了干涉光路穩定可靠。
技術參數
產品型號:SJ6000
產品名稱:SJ6000激光干涉儀
穩頻方式:雙頻激光熱穩頻
穩頻精度:0.05ppm
線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
線性測量距離:(0-80)m(無需遠距離線性附件)
角度測量精度:±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力:1nm
動態采集頻率:50KHz
預熱時間:≤6分鐘
工作溫度范圍:(0-40)℃
環境溫度范圍:(0-40)℃,環境濕度:0-95%
主要特點:應用范圍廣、測量精度高、操作方便
生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
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產品特點
1)測量精度高
2)檢測功能多
3)可設定補償方式,自動生成報表
4)具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能
5)內置多種機床檢驗標準
6)可選擇手動或自動對波長進行環境補償
7)安裝方便:基本重量為15kg,簡單便攜。
結合不同的光學鏡組,sj6000激光干涉儀可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態測量軟件配合下,還可以實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。
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