DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機配有真空腔，射頻電源，真空泵，控制系統，流量控制系統。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機產品簡介：
設備簡介：
1、真空腔
采用進口材料制作而成，焊接無漏氣，*優化 8 層電*設計合理利用空間，專業等離子發生方式，絕緣可靠良好。
2、射頻電源
*全可靠的射頻電源(13.56MHz)，為等離子的產生提供保障。
3、真空泵
快速抽真空系統設計，真空度可至 10pa 以內，保證設備使用的各個需求壓力。
4、控制系統
PLC+觸摸屏自動控制系統設計，方便客戶使用和操作。
5、流量控制系統
專業閉環流量控制系統，保證工藝氣體的準確，確保等離子的效果的穩定。
裝機前準備：
1、壓縮空氣：≥0.5mpa，?6mm PU 管
2、工藝氣體：AR&O2(純度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，?6mm PU 管
3、廢氣排放：?50mm 接口
4、主電源：≥ 4mm2 電源線(三相五線)，5.7KW Main
設備工作流程：
1、真空抽取：將產品放置腔體內，關上腔體門，打開真空泵，將真空腔內氣壓從常壓抽至 30pa(自行設置)以內;
2、添加工藝氣體：將準確流量的工藝氣體添加至真空腔室內，均勻分布;
3、產生等離子：射頻電源提供能量電離真空腔內的工藝氣體，形成等離子體;
4、產品處理：根據設置時間處理產品的等離子處理時間;
5、破真空：產品處理完成后，打開破真空電磁閥，將真空腔壓力恢復至常壓取出產品。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等離子清洗機技術參數：
名稱（Name） | Vacuum Plasma system真空等離子清洗機 | |||
型號（Model） | DSX- VPD-8L-S | |||
技術參數(Technical Parameter) | 備注(Remarks) | |||
1 | 控制系統 (Control system) | PLC+HMI | Mitsubishi | |
2 | 真空泵 Vacuum Pump | 旋片式真空泵 Rotary vacuum pump | TVP | |
3 | 等離子發生系統 Plasma generator | 射頻電源 0-1000w+全網絡自動匹配器 RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network | KVMEN | |
4 | 真空監控系統Vacuum Guage | 皮拉尼電阻式真空計 Pirani resistance vacuum gauge | Ulvac | |
5 | 氣體流量控制系統Mass Flow Control | 質量流量控制器 MFC control system | ETON | |
6 | 氣體控制系統 Gas control system | 二通電磁閥控制 2 Channel solenoid valve control | SMC | |
7 | 抽真空控制系統Vacuum output control | 高真空氣動擋板閥 GDW-KF40 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40 | ISO standard | |
8 | 破真空控制系統Vacuum breaking control | 高真空氣動擋板閥 GDW-KF16 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve | ISO standard | |
9 | 電*層數 Electrode Layer | 水平電*板 8 層(層數可選) 8 Layers of horizontal electrode plate（Option） | AL6061-L | |
10 | 有效處理面積 Effective treatment area | 300mm（D）*400mm（W） | Option | |
11 | 工藝氣體通道 Process gas channel | 兩路工作氣體可選擇：AR O2 N2 H2 CF4 等 2 channels process gases option: AR O2 | Option | |
12 | 腔體規格 Chamber Size | 450mm(W)*450mm(D)*400mm(H) | AL-6061-L | |
13 | 整機外形尺寸 Layout Size | 995mm（W）*1085mm（D）*1750mm（H） | ||
名稱（Name） | Vacuum Plasma system | |||
型號（Model） | DSX-VPO-8L-S | |||
技術參數(Technical parameters) | 備注Remarks | |||
1 | 設備電源Power supply | 3P : 380VAC 50/60Hz | ||
2 | 設備功率Power KW | 5.7KW | ||
3 | 工作真空度 Working vacuum point | 10-100Pa | ||
4 | 抽真空時間 Vacuum output time | ≤100s | ||
5 | 破真空時間 Vacuum breaking time | ≤30s | ||
6 | 射頻電源功率 RF Power KW | 0-1000W | ||
7 | 機臺重量Weight | ≤500KG | ||
8 | 質量流量控制系統 MFC Range | 0-200sccm | ||
9 | 操作方式 Mode of operation | 全自動運行系統，一鍵啟動 Fully auto operation system, One-key starting | ||
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