BASF公司開發的AIXTRON專用紅外測溫儀擁有專有技術，采用藍寶石光管作為光學鏡頭，測溫范圍覆蓋100-1800℃測溫精度高達1.5℃, 測溫重復性0.1℃，適用于AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD系統。
主要特點
詳細說明
作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業先驅者, BASF已將其溫度測量技術專長應用于光學溫度測量. EXACTUS紅外測溫儀取得了技術性突破，在非接觸式溫度測量中提供了顯著的性能優勢 .
EXACTUS紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術相比，超靈敏電子技術、精密光學技術以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴格、精度更高、整體性能更好.
BASF的原創技術在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優勢. 高度敏感的電子學和先進的光學技術意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監控和生產工藝.
BASF公司開發的AIXTRON專用紅外測溫儀擁有專有技術，采用藍寶石光管作為光學鏡頭，測溫范圍覆蓋100-1800℃測溫精度高達1.5℃, 測溫重復性0.1℃。
AIXTRON專用紅外測溫儀可匹配AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD的測溫系統。
典型應用
技術參數
| 測量參數 |
|---|
| 溫度范圍: | 單色測溫：
100 – 1800℃ (工作波長 1.55 μm) |
| 測量精度: | 優于1.5℃ 或 0.15%測值 |
| 分辨率: | 最高0.01℃ |
| 重復精度: | 0.1℃ |
| 溫度漂移: | 最大 0.10℃/年
環境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度 |
| 測量速率: | 最高1000 測值/秒, 響應時間1ms |
| 物理參數 |
|---|
| 供電: | 12-28 VDC, 3W |
| 存儲溫度: | -20 to 70℃ |
| 環境溫度: | 電子器件: 0 - 60℃
惡劣環境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃ |
| 外殼材質: | 傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁；
氣吹外殼，鋁；
惡劣環境專用鏡頭: 304 不銹鋼； |
| 重量: | 標準高溫計，0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.) |
