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日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀

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概要:自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產品FT110A,在測量精度、操作性能、軟件上有新的優化

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概要:

自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產品FT110A,在測量精度、操作性能、軟件上有新的優化。

通過自動定位功能,只需把樣品放在樣品臺上,便能在數秒內自動對準觀察樣品焦點,省略了以前手動逐次對焦的操作,大幅提高了測量效果。

特長:

1.自動對焦功能 自動接近功能

在樣品臺上放置各種高度的樣品時,只要高低差在80mm范圍內,即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進一步提高定位操作的便捷性。

●自動對焦功能    簡便的攝像頭對焦

●自動接近功能    位置的對焦

2.通過新薄膜FP法提高測量精度

實現微小光束的高靈敏度,通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外,針對檢測器的特性開發了新的EP法,可進行無標樣測量。測量結果可一鍵生成報告書,簡單方便。

●新薄膜EP法    

減少檢量線制作的繁瑣程度、實現了設定測量條件的簡易化

無標樣測量方法可進行最多5層的膜厚測量

●自動對焦功能和距離修正功能    

凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量

●靈敏度提高

鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2

●生成報告功能

一鍵生成測量報告書

3.廣域樣品觀察

對測量平臺(250mm*200mm)上放置的樣品拍攝一張靜態畫面后,可在獲取的廣域觀察圖像上狹域的觀察位置。由此,可大幅減少多數測量點位置的選取時間,以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。

●廣域圖像觀察    

輕松定位

儀器基本規格:

測量元素

T(i  22)~B(i  83)

X射線管

W靶材

管電壓:50 kV 管電流:1 mA

檢測器

比例計數管

準直器

φ0.1、φ0.2 ㎜

樣品觀察

CCD攝像頭

X-Ray station

PC(OS Windows)+21.5英寸液晶顯示器

應用程序

定性分析

薄膜檢量線(單層、2層、2成分合金單層膜)

薄膜FP法(最多可測量5層、10個元素)

統計處理

測量功能

自動測量、中心搜索

報告功能

Microsoft Word / Excel

電源

AC100~120 V / AC200~240 V

可測樣品

標準型

開槽型

儀器尺寸

600(W)×815(D) ×675(H)㎜

儀器尺寸

600(W)×815(D)×675(H)㎜

樣品尺寸

250(W)×200(D) ×150(H)㎜電動樣品臺

樣品尺寸

600(W)×600(D)×15(H)㎜及250(W)×200 (D)×150(H)㎜

樣品重量

10 Kg

樣品重量

10 Kg


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