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MDPpro 晶圓片/晶錠壽命檢測儀

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根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(PCD/MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查

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根據SEMI標準PV9-1110的非接觸式和無損成像(μPCD / MDP(QSS))、光電導性、電阻率和p/n檢查。

晶圓切割，爐內監控，材料優化等。

日常壽命測量，質量控制和檢驗
產量：>240塊/天或>720片/天
測量速度：對于156x156x400mm標準晶錠，<4分鐘
良品率提升：1mm切割標準為156x156x400mm標準晶錠
質量控制：用于過程和材料的質量監控，如單晶硅或多晶硅
沾污檢測：起源于坩堝和生產設備的金屬(Fe)
可靠性：模塊化和堅固耐用的工業儀器，更高可靠性，運行時間> 99%
可重復性:> 99.5%
電阻率：可做面掃描，不需經常校準


精密材料研發

鐵濃度測定
陷阱濃度測定
硼氧測定
依賴于注入的測量等


特性
無接觸和無破壞的半導體檢測
特殊“underneath the surface”壽命測量技術
對不可見缺陷的可視化測試具有很高靈敏度
自動設置硅錠切割標準
空間分辨p/n電導型變換檢測


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