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MDPinline ingot 晶錠在線面掃檢測儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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MDPinlineingot系統(tǒng)是快的多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測量工具

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MDPinline ingot系統(tǒng)是快的多晶硅晶錠電學(xué)參數(shù)特性測量工具。它是專為高通量工廠的單塊晶錠測試而研發(fā)的。每塊晶錠可以在不到一分鐘時間里測量其四面。所有的圖譜(壽命,光電導(dǎo)率,電阻率)都是同時測量的。 

       該系統(tǒng)包括一個數(shù)據(jù)庫和統(tǒng)計數(shù)據(jù)評估,可用于自動確定精確的切割位置,以提高成品率。用于材料質(zhì)量監(jiān)控,爐選擇和工藝改進。

性能

無接觸破壞的半導(dǎo)體特性
少數(shù)載流子壽命的檢測能力Automated determination of cut off criteria
的靈敏度讓所有隱形缺陷可視化
自動切割標(biāo)準(zhǔn)定義
獲取體材料性質(zhì)的穩(wěn)態(tài)測量
自動化的內(nèi)聯(lián)集成
對太陽能級硅錠進行掃描,1mm分辨率
測量時間:1分鐘內(nèi)完成晶錠的面掃描,可自動測量所有4個面

優(yōu)勢

  • 光伏晶圓廠多晶硅晶錠在線特性快速檢測的世界記錄。
  • 在1分鐘內(nèi)完成分辨率大于1mm成像掃描測試,同時可完成電導(dǎo)類型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的
  • 線掃描測試。客戶定義的切割標(biāo)準(zhǔn)可以傳輸?shù)骄A廠數(shù)據(jù)庫,該數(shù)據(jù)庫允許對下一代光伏晶圓廠進行自動化的材料監(jiān)控。
  • 對爐料進行質(zhì)量控制和爐況監(jiān)測,并進行失效分析。特殊的“underneath the surface”測量技術(shù)大大減少了表面重組造成的數(shù)據(jù)失真。


  • Recognition of cracks, chunks etc. Automated cut criteria definition, lifetime map 






  • 技術(shù)參數(shù)
    樣品多晶硅晶錠
    樣品尺寸125 x 125到 210 x 210 mm²
    硅錠長度600 mm
    電阻率0.2 - 10³ Ohm cm
    電導(dǎo)類型p, n
    材質(zhì)多晶硅
    檢測性能壽命(穩(wěn)態(tài)或非平衡(μ-PCD)可選擇的),光電導(dǎo)性
    激發(fā)光源980 nm (默認(rèn))
    測量時間取決于樣品例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm:不到2分鐘
    尺寸2300 x 800 x 1200 mm, 重量:250 kg
    電源110/220V, 50/60 Hz, 8 A

    其它細(xì)節(jié)
    • 全自動化
    • 晶錠圖和線掃描

  • 選項

    • 電阻率圖 ,1 cm² 分辨率
    • p/n 等效圖,1 mm² ­分辨率
    • 鐵濃度分布圖


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