熱發射顯微鏡系統(Thermal Emission microscopy system),是半導體失效分析和缺陷定位的常用的三大手段之一(EMMI,THERMAL,OBIRCH),是通過接收故障點產生的熱輻射異常來定位故障點(熱點/Hot Spot)位置。
而OPTOTHERM Sentris 熱發射顯微鏡系統,標配LOCK IN THERMOGRAPHY鎖相熱成像技術,將鎖相技術和熱成像技術有機結合,獲得超過1mk以上的溫度分辨率,對u漏電流或微短路等導致的缺陷,提供了非常好的解決方案。
Thermal EMMI 在電子及半導體行業應用,行業專家一刀博士有生動的描述,thermal 的應用/jishu_920621_1_1.html.