PT-60-HF是一款中型等離子去膠機,配置豐富且真空腔體里面可分層，適合8寸晶圓及以下大多數生產場景設備優點? 任何材質、形狀、尺寸都可以處理? 高效均勻的處理效果? 自主研發的操作系統，簡潔智能? 處理氣體多為氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體? 較低的處理溫度，不存在熱損傷和熱氧化問題? 使用成本低、耗損小? 安裝與維護簡便快捷
等離子體其中包括原子、分子、離子、電子、活性基團、激發態原子、活化的分子及自由基，這些粒子的能量和活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，從而有些化學鍵被打開后結合上氧原子等高活性的物質，使得材料表面親水性得到極大提高，同時對材料表面的油污等有機大分子新的化學反應，生成氣態小分子，例如二氧化碳，水氣等氣態物質被真空泵抽走，從而達到對材料表面分子級別的清洗。
在粘接/bonding/印刷/噴漆/鍍膜/封裝等工序時讓產品可靠性更高，良品率更好。
| 型號 | PT-60-HF | |
| 整機尺寸（mm） | 785(W)×800(D)×1800(H) | |
| 重量（Kg） | 280 | |
| 真空腔體 | W400mm；D400mm；H400mm | |
| 托盤 | W360mm；D360mm | |
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射頻電源 | 輸出頻率 | 13.56MHz |
| 功率 | 500W / 1KW | |
| 負載阻抗 | 50Ω | |
| 真空測量 | 量程 | 1×10-2～1×105 |
| 工藝氣路 | 2路工藝氣體管道 | MFC質量流量計 |
| 控制系統 | 西門子PLC+MCGS觸摸屏 | |
| 軟件功能 | 手動模式和自動模式 | |
| 真空泵 | 可選油泵或干泵 | |
| 外部電源 | 380V；50/60Hz | |
| 其他說明 | 設備配置可根據要求定制 | |
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