KLA D-300 探針式表面輪廓儀

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。

    探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關。可調節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

設備特點

· 臺階高度：幾納米至1000μm

· 低觸力：0.5至15mg

· 視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真

· 圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

主要應用

· 臺階高度：2D臺階高度

· 紋理：2D粗糙度和波紋度

· 形式：2D翹曲和形狀

· 應力：2D薄膜應力

應用領域

· 半導體和復合半導體

· SIMS：二次離子質譜

· LED：發光二極管

· 太陽能

· MEMS：微電子機械系統

· 汽車

· 醫療設備