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Alpha-Step D-500臺階儀

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Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。

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Alpha-Step D-500 Stylus Profiler



 

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到1200微米的2D臺階高度。 D-500還可以在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)境中支持粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 D-500包括一個(gè)手動(dòng)140毫米平臺和的光學(xué)系統(tǒng)以及加強(qiáng)視頻控制。


產(chǎn)品描述

Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力的2D測量。 創(chuàng)新的光學(xué)杠桿傳感器技術(shù)提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

探針測量技術(shù)的一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它是一種直接測量,與材料特性無關(guān)。 可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結(jié)構(gòu)和材料進(jìn)行精確測量。 通過測量粗糙度和應(yīng)力,可以對工藝進(jìn)行量化,確定添加或去除的材料量,以及結(jié)構(gòu)的任何變化。


主要功能

  •      臺階高度:幾納米至1200μm

  •       低觸力:0.03至15mg

  •       視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

  •       梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  •       圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

  •       緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀

  •       軟件:用戶友好的軟件界面


主要應(yīng)用

  •       臺階高度:2D臺階高度

  •       紋理:2D粗糙度和波紋度

  •       形式:2D翹曲和形狀

  •       應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力


工業(yè)應(yīng)用

  •       大學(xué),研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  •       半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  •       SIMS:二次離子質(zhì)譜

  •       LED:發(fā)光二極管

  •       太陽能

  •       MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

  •       汽車

  •       醫(yī)療設(shè)備





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