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精確控制的測試測量環境 - 高真空腔體,4~675k溫度范圍。
多種配件可選/升級 - 2~8英寸載物臺,定位器數量及精度、溫度范圍、光學穿墻件。
高性價比 - 液氮/氦致冷系統,設備初始配置成本比閉循環系統低。
結構緊湊 - 小型化結構設計,是空間緊張的研究單位的理想選擇。
KeyFactor公司為用戶提供了高性價比配置的真空高低溫探針臺,該系統配置了KeyFactor研發的CryoPS-Celcius溫度控制系統,為用戶提供精準、穩定、高效的溫度控制,節約用戶的設備預算。
CryoPS-Celcius配套了4個高精度PID溫度控制器,用戶可以清楚直觀地了解了整體系統相關位置的溫度情況,確保溫度測試的可靠性。同時,200W 大功率直流輸出,可讓樣品臺快速從-196℃上升至200℃,極大地提供了溫控效率,為用戶節省大量寶貴的實驗時間。由于系統中溫控部件均為直流配置,也大大地減少了加熱部件的干擾,提供了系統 的漏電精度。
除了高性價比入門級配置,KeyFactor公司還為用戶研發了高性價比配置的真空高低溫探針臺系統。該系統配置了Cryocon的Model 26C或者Lakeshore的Model336溫度控制系統,為用戶提供精準、穩定且高效的溫度控制。
CryoPS-Kelvin真空高低溫探針臺系統,使用國際上的溫度控制系統和傳感器,溫度范圍為4.4至675K(常規系統至475K),溫度穩定性可達0.1K。該系統亦同時配套有4路輸入和兩路PID輸出,可精準且全面地對系統的溫度進行監視和控制。CryoPS-Kelvin為開循環系統,用戶可根據實際需求,使用液氮或液氦對系統進行降溫,獲得相應的目標溫度(77K/4.4K)。
高低溫探針臺系統達到10^-3mbar即可進行低溫測試而無凝露或結霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標真空度,從而減少設備的配置預算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統進行抽真空。KeyFactor的常規低溫探針臺系統,可達10^-5mbar。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設計了隔振器,地衰減泵組工作時產生的振動,以確保系統的穩定,減少探針的漂移。
精準、可靠的電學測試測量配置也是KeyFactor高低溫探針臺系統的優勢。
我們可為用戶提供多種探針臺配置,如常規的鎢探針用于基礎的I-V測量,同軸探針用于高精度的I-V/C-V以及PIV測量,TrueKelvin同軸探針用于高精度的C-V測量,微波測試探針用于S參數的表征測量等等。
除了探針,KeyFactor也為用戶提供了多種真空穿墻接頭以用于不同的測試系統間的連接。目前常用的配置有BNC,SMA、TRIAX三同軸接頭,2.92mm微波測試接頭等等。
普通的樣品夾具,通常由OFC制作并與系統共地。我們也提供同軸或三同軸配置的樣品夾具,用于超低漏電測試應用中。所有樣品夾具表面均有TYPE II規格的鍍金層,增強樣品的導電性能。
我們同時還提供多種尺寸的磁體樣品臺,用于提供小范圍的垂直磁場,方便用戶進行磁場測試。
冷頭、探針、探針臂及屏蔽層均有溫度監測傳感器,為用戶提供多個準確的溫度信息,讓用戶快速地把握測試環境的大致情況。
待測器件(DUT)的溫度會受到輻射及周邊部件熱傳導的影響,因此,如果沒有完善的熱錨技術,將無法得到精準可靠的目標溫度。由于傳感器只是安裝在恒溫器上,而不是安裝在DUT上,DUT的溫度實際將比您在控制器上觀察到的溫度要高出許多。
為了避免由于溫度不準而導致錯誤的測試結果,我們對探針、探針臂、輻射屏蔽層都使用了熱錨技術,地減少溫度誤差。同時,整體系統也配置了低溫屏蔽層,用于屏蔽300K輻射,提升系統溫度的精確性和穩定性。
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