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光發射顯微鏡

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Advance是中國臺灣有名的光發射顯微鏡制造商,核心技術來自日本的Hamamatsu,其原理是利用光子輻射來探測,快速找到失效的缺陷部位;主要應用于:集成電路元器件失效分析、無損失效分析、細微缺陷探測

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Advance是中國臺灣有名的光發射顯微鏡制造商,核心技術來自日本的Hamamatsu,其原理是利用光子輻射來探測,快速找到失效的缺陷部位;主要應用于:集成電路元器件失效分析、無損失效分析、細微缺陷探測。

1. EMMI光發射顯微鏡是一種效率的失效分析工具,提供高靈敏度非破壞性的故障定位方式,可偵測和定位非常微弱的發光(可見光及近紅外光),捕捉各種元件缺陷或異常所產生的漏電流可見光;
2. EMMI偵測對應故障種類涵蓋ESD、Latch up、I/O Leakage、Junction Defect、Hot Electrons、Oxide Current Leakage等所造成的異常;
3. EMMI對漏電流的偵測可達微安級別。

Advance特點:
1. 高分辨率,達0.4µm
2. 正面、背面雙向探測
3. 納米級波長
4. 高靈敏度光子探測頭
5. 可與其它儀器配合使用,如探針臺
6. 全電腦控制



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