系統規格：波長范圍：350~850nm入射角：30°~ 90°解析度：±0.01°待測樣品尺寸：up to 200mm精度：1200A SiO2標準片厚度：（Tks）：±6A折射率（N）：±0.01 at 632.8nm重復性：1200A SiO2標準片厚度(Tks)：±2.5A折射率(N)：±0.005 at 632.8nm (5 times)尺寸：140cm×50cm×60cm

系統規格：
波長范圍：350~850nm
入射角：30°~ 90°
解析度：±0.01°
待測樣品尺寸：up to 200mm
精度：1200A SiO₂標準片
厚度：（Tks）：±6A
折射率（N）：±0.01 at 632.8nm
重復性：1200A SiO₂標準片
厚度（Tks）：±2.5A
折射率（N）：±0.005 at 632.8nm （5 times）
尺寸：140cm×50cm×60cm