電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）應(yīng)由電感耦合等離子體離子源、四級(jí)桿離子透鏡、四級(jí)桿碰撞反應(yīng)池、四極桿質(zhì)量過(guò)濾器、離子檢測(cè)系統(tǒng)等部分構(gòu)成。由微機(jī)和必要的軟件對(duì)儀器進(jìn)行控制，并進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取、壓縮、處理顯示和存儲(chǔ)。質(zhì)譜儀還應(yīng)該包括維持高真空的所有設(shè)備，以及進(jìn)行常規(guī)溶液樣品霧化的進(jìn)樣系統(tǒng)。ICP-MS的功能應(yīng)包括樣品引入、原子化、離子化和質(zhì)量分析，進(jìn)行樣品的定性確認(rèn)、定量成分分析元素成分的同位素分析

1 質(zhì)量范圍：3－280amu
2 質(zhì)量分辨率：多元素分析不同元素可以設(shè)置不同的分辨率，在一次分析中分辨率0.3amu－3.0amu連續(xù)可調(diào)。
3 線性動(dòng)態(tài)范圍：系統(tǒng)的線性動(dòng)態(tài)范圍至少9個(gè)數(shù)量級(jí)，數(shù)據(jù)偏離線性不超過(guò)5％。
4 豐度靈敏度：在M＋1處優(yōu)于10⁷，在M－1處優(yōu)于10⁶。
5 背景穩(wěn)定性：定義為220amu處背景信號(hào)的平均值，低于1cps。
6 交叉污染與記憶效應(yīng)：在正常的儀器運(yùn)行條件下，絕大部分元素應(yīng)在30秒內(nèi)清洗使信號(hào)降低到原來(lái)信號(hào)的0.1%以上。
7 多電荷離子：在正常的儀器運(yùn)行條件下，Ce⁺⁺的峰強(qiáng)度小于Ce⁺強(qiáng)度的3％。
8 質(zhì)量校準(zhǔn)穩(wěn)定性：小于0.05amu每天，無(wú)需使用多點(diǎn)尋峰算法。
9*穩(wěn)定性：定義為10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號(hào)的標(biāo)準(zhǔn)偏差，不加內(nèi)標(biāo)，每10分鐘測(cè)量一次。 4 小時(shí)穩(wěn)定性 <3%RSD
10 數(shù)據(jù)獲取：系統(tǒng)掃描譜圖的速度為5000amu/s，為測(cè)量ETV、FIAS和LA等進(jìn)樣裝置產(chǎn)生的瞬時(shí)信號(hào)，系統(tǒng)應(yīng)可以采用單點(diǎn)跳峰測(cè)量方式，每個(gè)選定的峰的測(cè)量時(shí)間可以為100 µs。 
11 時(shí)間分辨數(shù)據(jù)獲取：為監(jiān)測(cè)瞬時(shí)時(shí)間分辨信號(hào)，ICP-MS系統(tǒng)應(yīng)在1秒內(nèi)完成50個(gè)全譜的掃描。
12 精密度：定義為10 µg/L的²⁴Mg， ⁶³Cu， ¹¹⁴Cd， ²⁰⁸Pb 混合多元素溶液平均信號(hào)的標(biāo)準(zhǔn)偏差，3秒積分，連續(xù)測(cè)定10次。<3%RSD。
13 靈敏度、雙電荷離子、氧化物離子、背景和檢出限：在同樣一個(gè)儀器條件下，¹¹⁵In的靈敏度應(yīng)在150´10⁶ cps/ppm 以上，同時(shí)Ce⁺⁺的峰強(qiáng)度小于Ce⁺強(qiáng)度的3％，CeO⁺/Ce⁺的比值應(yīng)低于3％，220amu處背景信號(hào)的平均值應(yīng)低于1cps，以每個(gè)質(zhì)量數(shù)只測(cè)量一個(gè)點(diǎn)的單點(diǎn)跳峰方式和3秒的積分時(shí)間，測(cè)量空白的標(biāo)準(zhǔn)偏差的3倍進(jìn)行計(jì)算，¹¹⁵In的檢出限應(yīng)優(yōu)于0.1ppt。
14同位素比精密度：定義為 25 µg/L的銀溶液中 ¹⁰⁷Ag/¹⁰⁹Ag 的同位素比精密度，使用單點(diǎn)跳峰方式進(jìn)行測(cè)量。 <0.08% RSD