自動(dòng)化顯微鏡外觀檢查的理想選擇。
高速檢查晶圓/基板缺陷和異物。

由于可以一次檢查兩個(gè)表面，因此在透明基板的情況下，可以同時(shí)檢查正面和背面以及正面和內(nèi)部，并且可以分離檢查結(jié)果。

 

設(shè)備規(guī)格

對(duì)應(yīng)板子尺寸

大200毫米x 200毫米

吞吐率

約1分30秒□100 mm（檢測(cè)到3μm）

工作安裝

手動(dòng)真空吸附

設(shè)備外形尺寸

寬800毫米x深800毫米x高1,710毫米

分辨率

0.87微米

待檢查的基材

晶圓，玻璃和各種基材。非圖案或相同圖案
（網(wǎng)格，針孔）

審查功能

是的