大型玻璃基板檢查裝置。
可以檢查各種大型基板的表面，例如透明玻璃基板和薄膜片。
傳感器自動對焦機制可支持板中心的偏轉。

設備規格

工作尺寸

大500 x 500（mm）

掃描方式

傳感器的XYZ掃描

吞吐率

□500 mm約25分鐘（0.5 mm激光掃描時）

工作提供方法

手動的

設備尺寸（寬x深x高）

寬1,150 x深1,100 x高1,135（毫米）

設備重量

約500公斤

能量消耗

約1.5kW（100V）

低檢測靈敏度

0.5μm/透明玻璃基板

待檢查的基材

可以選擇安裝前/后分離傳感器， 例如透明玻璃基板，帶有各種薄膜的玻璃基板和薄膜片。