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日本ygkcop晶圓表面檢測(cè)儀YPI-N系列

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日本ygkcop晶圓表面檢測(cè)儀YPI-N系列
YPI-N系列（自動(dòng)運(yùn)輸）
晶圓表面檢測(cè)設(shè)備[YPI-N系列（自動(dòng)轉(zhuǎn)移）]
○○○○○○○○圖片高速掃描鏡面基板（硅晶片等）表面上的異物。
從小型基板（2英寸，3英寸）到8英寸晶圓，可以執(zhí)行多種測(cè)量。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

日本ygkcop晶圓表面檢測(cè)儀YPI-N系列

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日本ygkcop晶圓表面檢測(cè)儀YPI-N系列

YPI-MX系列（手動(dòng)）玻璃基板/藍(lán)寶石表面檢查設(shè)備



 
YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列（手動(dòng)）
用于透明透明玻璃基板的機(jī)器，還支持各種背面緞面基板。
傳感器自動(dòng)對(duì)焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離。
 
 

設(shè)備規(guī)格

對(duì)應(yīng)板子尺寸
大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上，請(qǐng)與我們聯(lián)系）
掃描方式
XY掃描/Θ-X掃描（螺旋掃描）
吞吐率
□200mm約4分鐘/Φ200mm約3分鐘（可進(jìn)行高速掃描）
工作安裝
轉(zhuǎn)移機(jī)械手（背面吸力/邊緣夾具）
設(shè)備外形尺寸
寬1,320毫米x深1,000毫米x高1,700毫米
體重
約800公斤
能量消耗
約1.5kW（100V）
待檢查的基材
硅片，各種薄膜的硅片
低檢測(cè)靈敏度
Si晶片為0.1μm

 

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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