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輝光放電質譜檢測(GDMS檢測)
國家有色金屬及電子材料分析測試中心,擁有美國Thermo Fisher公司型號的Element GD輝光放電質譜儀(GDMS),適用于金屬中ppb級及其以上含量的雜質分析,可以檢測5N、6N高純鋁、銅、鋅、鎳、鈷、多晶硅中的痕量和超痕量雜質元素。
賽默飛ELEMENTGDPlus
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