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蔡司掃描電鏡EVO系列

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行業(yè)的新伙伴蔡司EVO掃描電子顯微鏡的品質值得信賴,可助工業(yè)質量保證和失效分析實驗室一臂之力在工業(yè)質量、失效分析或研究領域,由于掃描電子顯微鏡可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息,所以它是金相學和失效分析應用的理想之選

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行業(yè)的新伙伴——
蔡司 EVO 掃描電子顯微鏡的品質值得信賴, 可
助工業(yè)質量保證和失效分析實驗室一臂之力

在工業(yè)質量、失效分析或研究領域,由于掃描電子顯微鏡可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學信息,所以它是金相學和失效分析應用的理想之選。
專為日常檢測和分析應用而設計,蔡司EVO 擁有的操作設計理念,無論是經驗豐富的顯微技術人員還是不具備掃描顯微鏡專業(yè)知識的工程師,均可輕松上手。它能夠提供出色的高質量圖像,特別適合于后續(xù)檢測中無法涂覆導電層的非導電零部件。
EVO 的優(yōu)勢在于能夠無縫集成至多模式質量保證或失效分析工作流程中,半自動化重定位感興趣區(qū)域和數據完整性解決方案使其可以實現跨系統(tǒng)、跨實驗室甚至跨區(qū)域的應用。
此外,EVO 還是清潔度分析的工業(yè)級解決方案平臺。憑借大量可選的樣品室、真空系統(tǒng)、電子槍和分析選件,EVO 可以滿足您的性價比需求。

邁入檢測應用新高度——當達到光學顯微鏡分辨率或襯度極,EVO能助您尋求更多答案

高分辨率表面形貌

二次電子(SE)成像 使用高達數納米的分辨率,輕松應對幾乎所有亞微米級應用。光學顯微鏡可獲得表面襯度
(反射),而二次電子則可獲得樣品表面上的邊緣襯度, 因此能夠提供更詳細的表面形貌信息,如金屬裂縫。

組分成像

背散射電子(BSE)成像可獲得與零部件或裝配件材質密度成比例的襯度。通過獲取組分異質性信息可以幫助您找出材料失效或質量偏差的根本原因。

高空間分辨率元素分析

在能量色散譜儀EDS中,通過精準聚焦的電子束與樣 品之間相互作用產生的 X 射線能夠獲得表面元素組分信息。運用掃描電子束在感興趣區(qū)域上得到化學元素分布。EVO EDS 組合為質量檢驗或材料失效分析應用中的元素化學信息成像提供出色解決方案。

高性價比——契合您的性價比需求

樣品室規(guī)格

無論是小型組件,還是大型零部件或裝配件,如傳動系統(tǒng)或電氣組件,均可從三種規(guī)格的真空樣品室(EVO 10 15 25)中選擇成像和分析需求的一款。

電子槍

選擇標準熱電子槍( 發(fā)針型鎢絲), 或選用六硼化鑭
LaB6)電子槍獲得高達10倍的電子束亮度。多年來,蔡司不斷致力于掃描電子顯微鏡中 LaB6 電子槍的改進,以提高 易用性和圖像質量,尤其是在可變壓力模式下。

與樣品匹配的真空環(huán)境
為金屬和其他導電零部件選擇標準高真空配置,或選配可變壓力(VP)模式進行非導電零部件的成像與分析,無需涂覆或制備,從而不會干擾多模式質量保證或失效分析工作流程。在可變壓力模式下,也可選擇品質的蔡司C2D 二次電子探測器對非導電零部件進行表面形貌成像。



技術參數
EVO 10 EVO 15 EVO 25
分辨率 2 nm, 3nm @ 30 kV SE with LaB6, W
3.4 nm @ 30 kV SE VP mode with W
6 nm, 8 nm @ 3 kV SW with LaB6 or W
9 nm, 20 nm @ 1 kV SE with LaB6, W
加速電壓 0.2 to 30 kV
探針電流 0.5 pA to 5 mA
放大倍數 < 7 – 1,000,000x < 5 – 1,000,000x < 5 – 1,000,000x
視野大小 6 mm at Analytical Working Distance (AWD)
能譜分析工作距離 8.5 mm AWD and 35 degree take-off angle
Optibeam 模式 Resolution, Depth, Analysis, Field, Fisheye
可變真空氣壓范圍 10 – 400 Pa (VP option), 10 – 3000 Pa (EP option)
可以配置的探測器 ETSE / VPSE-G4 / C2D / C2DX HDBSD / YAG-BSD
STEM / CL
EDS / WDS / EBSD
樣品倉尺寸 310 mm (Ø) x 220
mm (h)
365 mm (Ø) x 275
mm (h)
420 mm (Ø) x 330
mm (h)
5軸電動樣品臺 X = 80 mm, Y =
100 mm,
Z = 35 mm, T = - 10° to 90º, R =
360º (continuous)
X = 125 mm, Y = 125 mm, Z = 50
mm,
T = -10° to 90º, R =
360º (continuous)
X = 130 mm, Y = 130 mm, Z = 50
mm,
T = -10° to 90º, R =
360º (continuous)
樣品高度 100 mm 145 mm 210 mm
圖像尺寸 Up to 32k x 24k pixels





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