蔡司Sigma系列掃描電子顯微鏡擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡蔡司Sigma系列是擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡
主要技術參數 | |||
蔡司Sigma 300 | 蔡司Sigma 500 | ||
電子槍 | 肖特基場發射 | 肖特基場發射 | |
15kV 對應分辨率 | 1.0 nm | 0.8 nm | |
1kV 對應分辨率 | 1.6 nm | 1.4 nm | |
背散射電子探測器類型 | HD BSD | HD BSD | |
掃描速度 | 50 ns/pixel | 50 ns/pixel | |
加速電壓 | 0.02 – 30 kV | 0.02 – 30 kV | |
放大倍率 | 10× – 1,000,000× | 10× – 1,000,000× | |
探針束流 | 3pA-20nA(選 20nA ) 6pA-100nA(選 100nA) | 3pA-20nA(選 20nA ) 6pA-100nA(選 100nA) | |
圖像存儲分辨率 | 32 k × 24 k pixels | 32 k × 24k pixels | |
接口 | 12 | 12 | |
能譜接口 | 2(1 個 EDS 專用及誒口) | 3(2 個 EDS 專用及誒口) | |
真空模式 | |||
高真空模式 | Yes | Yes | |
可變壓模式 | 2 – 133 Pa | 2 – 133 Pa | |
樣品臺種類 | 全電動5軸樣品臺 | 全電動5軸優中心樣品臺 | 可選配全電動5軸樣品臺 |
X 方向移動范圍 | 125mm | 130mm | 125mm |
Y 方向移動范圍 | 125mm | 130mm | 125mm |
Z 方向移動范圍 | 50mm | 50mm | 50mm |
傾斜范圍 | -10 to +90 degrees | -3 to +70 degrees | -10 to +90 degrees |
旋轉范圍 | 360° Continuous | 360° Continuous | 360° Continuous |
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