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蔡司掃描電鏡Sigma系列

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蔡司Sigma系列掃描電子顯微鏡擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡蔡司Sigma系列是擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡

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蔡司 Sigma 系列掃描電子顯微鏡
擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡

蔡司 Sigma 系列是擁有高品質成像和分析功能的場發射掃描電鏡。它收益于久經考驗的Gemini 電子光學技術。Sigma 可以配備多種探測器,可以滿足不同的應用需求:顆粒物,表面構型及納米結構等樣品的成像。利用 Sigma直觀的 4 步工作流程,可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。

久經考驗的Gemini鏡筒設
1. Sigma系列產品是基于Gemini技術開發的
2. Gemini物鏡的設計結合了靜電場與磁場的用作, 使其電子光學性能化的同時,將電磁場對樣品的影響降至,即便是磁性材料,也能輕松應對
3. Inlens鏡筒內二次電子探測器安裝在電子束的正光軸上,極大地提高了樣品極表面二次電子的吸收效率,從而獲得更豐富的樣品表面形貌信息
4. 實現了超低電壓下的不導電樣品的高分辨成像。

靈活的探測段獲取率的圖像
1. 使用探測器技術描繪您的所有樣本。
2. 使用新型的 ETSE 二次電子探測器及用于高真空狀態下的 InLens 二次電子探測器可以獲得高分辨率的形貌信息。
3. VPSE C2D 探測器在各種壓力模式下都可以獲取清晰的圖像。
4. 使用環形 STEM 探測器可以獲取高分辨率的傳送圖像。
5. 使用四通道BSD探測器和釔鋁石榴石晶體探測器研究成分。

的分析系統
1. 掃描電鏡與要素分析相結合: Sigma EDS 幾何設計能夠增強分析能力,尤其是對電子束敏感的樣品。
2. 可實現在之前一半的束流下得到分析數據,同時測試速度比之前快一倍。
3. 8.5mm 的工作距離和 35 度的出射角,可得到沒有陰影區域的分析結果。

主要技術參數
蔡司Sigma 300 蔡司Sigma 500
電子槍 肖特基場發射 肖特基場發射
15kV 對應分辨率 1.0 nm 0.8 nm
1kV 對應分辨率 1.6 nm 1.4 nm
背散射電子探測器類型 HD BSD HD BSD
掃描速度 50 ns/pixel 50 ns/pixel
加速電壓 0.02 30 kV 0.02 30 kV
放大倍率 10× – 1,000,000× 10× – 1,000,000×
探針束流 3pA-20nA(20nA
6pA-100nA 100nA
3pA-20nA(20nA
6pA-100nA 100nA
圖像存儲分辨率 32 k × 24 k pixels 32 k × 24k pixels
接口 12 12
能譜接口 2(1 個 EDS 專用及誒口) 3(2EDS 專用及誒口



真空模式
高真空模式 Yes Yes
可變壓模式 2 133 Pa 2 133 Pa
樣品臺種類 全電動5軸樣品臺 全電動5軸優中心樣品臺 可選配全電動5軸樣品臺
X 方向移動范圍 125mm 130mm 125mm
Y 方向移動范圍 125mm 130mm 125mm
Z 方向移動范圍 50mm 50mm 50mm
傾斜范圍 -10 to +90 degrees -3 to +70 degrees -10 to +90 degrees
旋轉范圍 360° Continuous 360° Continuous 360° Continuous




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