聚苯乙烯球上的金納米顆粒，在3kV電壓下成像
| 基本規格 | 蔡司 GeminiSEM 500 | 蔡司 GeminiSEM 300 |
| 分辨率* | 15 kV 時，0.5 nm | 15 kV 時，0.7 nm |
| 1 kV 時，0.9 nm | 1 kV 時，1.2 nm | |
| 0.5 kV 時，1.0 nm | ||
| 在 30 Pa 樣品室壓力和 3 kV 電壓（配有 可變壓力機型）下，1.4 nm | ||
| 加速電壓 | 0.02 – 30 kV | |
| 探針電流 | 3 pA - 20 nA（另有 100 nA 配置） | |
| 放大倍率 | 50 – 2,000,000 × | 12 – 2,000,000 × |
| 電子槍 | 熱場發射型，穩定性優于 0.2%/h | |
| 主機標配探測器 | Inlens 二次電子探測器 | |
| Everhart Thornley 二次電子探測器 | ||
| 高效 VPSE 探測器（包含在可變壓力選件中） | ||
| 可選配的探測器 | ||
| 環形 STEM 探測器（aSTEM 4） | ||
| AsB4背散射探測器 | ||
| 陰極熒光探測器 | ||
| 圖像存儲 | 32k × 24k 像素 | |
| 樣品臺 | 5 軸電動優中心樣品臺 | |
| X = 130 mm；Y = 130 mm | ||
| Z = 50 mm | ||
| T = -3o - 70o | ||
| R = 360o （連續） | ||
| 按需可提供更多載物臺選件 | ||
*工作距離處的分辨率參數，取決于配置 | ||
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