ZQLS-27DM型氦質譜檢漏儀是新型的小型車載式氦質譜檢漏儀。儀器由主機、10.2″觸摸式大屏幕工控機[重僅26kg，體積為490×470×350（W×H×D）]和外接真空泵組成。小型、輕便、可攜帶。儀器還配有小車，移動方便。機內采用進口渦輪分子泵作主排氣機，啟動快（僅五分鐘即可使用）；采用計算機程序控制，通過觸摸式顯示屏按人機對話方式進行功能操作，具有自動尋峰、程序控制、檢漏數據存儲、分析、統計及打印等功能，高度智能化。
    儀器可以在測試口壓強為40Pa以下時采用常規方式進行檢漏。用常規方式檢漏時，可以在分流狀態檢較大的漏隙（測試口壓強在40～10^-1Pa），也可以在不分流狀態檢較小的漏隙（測試口壓強在10^-1Pa以下）。儀器配上吸槍后，可以對內部充He的試件進行吸He法檢漏，zui小可檢漏率優于10^-10Pa·m³/s；儀器配上快檢附件（相當于小真空室）、壓He罐后,可以對密封元器件等試件進行背壓法檢漏，zui小可檢漏率優于1×10^-9Pa·m³/s。
    儀器測量范圍可達2×10^-1～2×10^-12Pa·m³/s。儀器有音響報警裝置，報警點可以任意設定，使用方便。

技術參數和配置：

1. 技術指標
儀器zui小可檢漏率：優于5×10^-12Pa·m³/s
儀器反應時間：不大于3s
儀器質譜室允許工作的zui高壓強：1×10²Pa
儀器測試口允許工作的zui高壓強：100Pa
被檢件由粗抽至檢漏的自動切換點（檢漏點）可調范圍：40～10^-1Pa
音響器報警點設定范圍：任意
背壓法檢漏時間可調范圍：5～30s （密封元器件）
儀器啟動時間：不大于5min
小車輪廓尺寸：650×850×520mm
儀器重量：68kg（主機、工控機、外接4l/s真空泵、小車）
儀器使用條件：環境溫度5～35℃
相對濕度＜80%
供電電源：220V±10%、50Hz
儀器功耗：1.5kVA
2. 儀器內部配置
1）渦輪分子泵——美國VARIAN Turbo-V 81-T。
2）外接真空泵——美國VARIAN DS 302
3）校準漏孔，對He的漏率為10^-9量級，有校準證書。
3．附件箱內有
   離子源的易損件及小螺釘。
   各種密封墊圈（足夠使用2年以上）。
   噴氦法檢漏用的噴槍及氣袋。
4．可以按要求配置吸槍（管長20m時，反應時間約15s）。
5. 可以按要求配置背壓檢漏用的快檢附件。