氦質譜檢漏法是根據質譜分析的原理，以氦作探索氣體，對各種需密封的容器的漏隙進行快速定位和定量檢測的理想的方法。因氦是隋性氣體，對大氣無污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易滲透過任何可能存在的漏率，檢測靈敏度高、速度快、適用范圍廣；加之氦在大氣中含量少（僅萬分之五），離子質量與其它氣體離子質量相差很大，不易受干擾，不會錯判。與當今諸多檢漏方法（如氣泡法、鹵素檢漏法等）相比，它是*。

性能指標：
氦質譜檢漏儀對比
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  型   號            zui小可檢漏率Pa.m³/s
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  XF1801-ZQLS-23B                 2·10^-11
  XF1801-ZQLS-24B                 2·10^-11
  XF1801-ZQLS-24C                 2·10^-11
XF1801-ZQLS-26D/T                5·10^-12
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  型   號              反應（清除）時間 s
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  XF1801-ZQLS-23B                    ＜3
  XF1801-ZQLS-24B                    ＜3
  XF1801-ZQLS-24C                    ＜3
XF1801-ZQLS-26D/T                   ＜3
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  型   號                  讀數方式
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  XF1801-ZQLS-23B                 表頭（mV）
  XF1801-ZQLS-24B         表頭和數字（量程自動切換）
  XF1801-ZQLS-24C         表頭和數字（量程自動切換）
XF1801-ZQLS-26D/T                 數字直讀
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  型   號                  特    點
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  XF1801-ZQLS-23B             單主機，帶標準漏空
  XF1801-ZQLS-24B      帶一套粗抽系統（泵2XZ-4B），配有一只校準漏孔
  XF1801-ZQLS-24C      帶二套粗抽系統，適用于批量檢漏，配有一只校準漏孔
XF1801-ZQLS-26D/T     渦輪分子泵（德國萊寶50型）前級泵
               （日本GLD030）粗抽泵（英國
               EDWARDERV12），配有一只校準漏孔